1、系統功能
本系統采用干式檢漏法對工件進行檢漏，主要具備以下功能：
? 對真空箱抽取真空；
? 配置氦質譜檢漏儀，具備氦檢漏功能；
? 配置精密壓力傳感器，可通過壓力變化法的方式進行檢漏；
? 配置熱偶傳感器，可實時監測真空箱內溫度變化；
? 通過該裝置判斷出被檢工件的合格與不合格。
2、系統技術參數
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參照標準： |
EJ/T1096-1999 |
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真空箱內腔尺寸及容積： |
500x500x200mm長寬高，約50升 |
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對工件接口的要求： |
具備可密封性 |
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工件板材質： |
304不銹鋼、鋁 |
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可檢漏率： |
≤5x10-4至1.0x10-12 Pa m3/s |
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真空箱氦檢漏真空： |
≤20 Pa |
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系統自身漏率： |
≤10-10 Pa m3/s |
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設備校準： |
可自動操作內置漏孔校準 |
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京公網安備 11011402012516號
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