設備主要配置：
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性能指標 |
PR02/PD03 |
BR15/BM15&BD30/MC30 |
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性能 |
前級泵內置式 |
前級泵外置式及小車 |
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前級泵 油式機械泵 |
DS-42 2 m3/hr（34l/m） |
DS-302 14 m3/hr（232l/m） |
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渦旋式干泵 |
Dry pump combo -2 m3/hr（34l/m） |
TS-620 30 m3/h（500l/m） |
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可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 |
5x10-12 atm cc/sec： 5x10-12 mbar l/s：5x10-13 Pa m3/mec helium |
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測試口高耐壓 |
13mbar，10Torr，1330Pa |
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測試口處對氦氣抽速 |
1.8l/s |
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校準程序 |
自動或手動（內置或外置） |
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氦本底清零 |
按鍵清零，并具有零點追蹤功能 |
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操作界面 |
高清晰彩屏，TFT觸摸屏 |
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語言選擇 |
中文、英文、法文、德文、日文、韓文、西班牙文 |
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循環檢測 |
可編程粗抽時間/檢測時間，設置報廢點 |
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響應時間 |
＜0.5s |
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設定點 |
標準：5個設定點；常開或常閉：3個漏率點；1個壓強點；1個聲語點 |
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串行接口 |
RS-232繼電器輸出接口，9600 波特 （DB-9S） |
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繼電器式 l/O 輸出 |
繼電器輸出，5-24伏直流輸出與輸入（DB-25S） |
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無線遙控器（選購件） |
2.4GHz ISM頻段， 100米（328英尺）范圍，4節AA電池或5伏直流電源 |
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京公網安備 11011402012516號
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